潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分與設(shè)備配置要求

       凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)除了控制受控環(huán)境的溫度、相對(duì)濕度外更重要的是要控制潔凈區(qū)內(nèi)的空氣潔凈度、壓力或靜壓差;凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣處理過程包括熱、濕處理和凈化處理(經(jīng)粗效、中效或亞高效、高效或超高效過濾器過濾)，還要根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求設(shè)置過濾器或淋水器等;凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)、回風(fēng)的氣流組織應(yīng)有利于減少塵粒的擴(kuò)散，避免潔凈氣流受污濁，以確保輸送至潔凈工作區(qū)的空氣潔凈度。凈化空調(diào)系統(tǒng)所采用的凈化空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管及其附件、密封材料的材質(zhì)按潔凈度等級(jí)的不同有嚴(yán)格的要求。潔凈區(qū)的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般風(fēng)量較大、風(fēng)壓較高，能耗較大、運(yùn)行費(fèi)用高，在系統(tǒng)安裝后，應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行嚴(yán)格的調(diào)試、性能測(cè)試，并經(jīng)性能評(píng)價(jià)達(dá)到合格要求。潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分應(yīng)考慮滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、適應(yīng)生產(chǎn)工藝特點(diǎn)的需要，防止產(chǎn)品生產(chǎn)過程的交叉污染和由此對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或工作人員身體健康的影響，有利于產(chǎn)品生產(chǎn)過程的安全運(yùn)營，避免可能誘發(fā)不安全因素的形成，方便運(yùn)行管理，降低系統(tǒng)整體或全部運(yùn)行能量消耗，減少設(shè)備、管路投資等多種國素。在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中對(duì)凈化空調(diào)系統(tǒng)劃分的規(guī)定是，具有下面情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置。凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)置方式潔凈室中的凈化空調(diào)系統(tǒng)有集中設(shè)置方式和分散設(shè)置方式，集中設(shè)置方式是將空氣處理機(jī)組(AHU)集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)，在空調(diào)機(jī)組內(nèi)集中進(jìn)行初效、中效或亞高效空氣過濾凈化和熱、濕處理，然后由送風(fēng)管道輸送至潔凈區(qū)的吊頂上部，經(jīng)過設(shè)在頂棚上的末端高效空氣過濾器或高效過濾器送風(fēng)口進(jìn)行終端凈化送入潔凈區(qū)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)潔凈度、溫度，相對(duì)濕度和壓力的要求。

潔凈區(qū)回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)口、回風(fēng)管再返回至空調(diào)機(jī)房的空調(diào)機(jī)組內(nèi)與新風(fēng)混合，重復(fù)進(jìn)行熱、濕處理和凈化處理。這類集中式系統(tǒng)可有全新風(fēng)(直流系統(tǒng))方式，一次回風(fēng)方式和一、二次回風(fēng)方式以及MAU+RAU方式等。集中送風(fēng)方式采用數(shù)臺(tái)大型新風(fēng)機(jī)組和凈化循環(huán)機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)，空調(diào)機(jī)房可位于潔凈區(qū)的側(cè)而或頂部；經(jīng)過溫度、濕度處理和過濾后的空氣由離心風(fēng)機(jī)或軸流風(fēng)機(jī)加壓通過風(fēng)管送入送風(fēng)靜壓箱，再經(jīng)由高效過濾器或超高效過濾器過濾送入潔凈區(qū)。回風(fēng)經(jīng)格柵地板系統(tǒng)流入回風(fēng)靜壓箱，再回到凈化空調(diào)系統(tǒng)的循環(huán)系統(tǒng)，如此反復(fù)循環(huán)運(yùn)行。隧道潔凈區(qū)送風(fēng)方式這種送風(fēng)方式一般把潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)、維護(hù)區(qū)。生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度等級(jí)和嚴(yán)格的溫、濕度控制，設(shè)在單向流送風(fēng)區(qū)內(nèi);維護(hù)區(qū)要求較低，設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備或無潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備尾部和配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風(fēng)區(qū)，維護(hù)區(qū)為回風(fēng)區(qū)，構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風(fēng)由多臺(tái)循環(huán)空氣系統(tǒng)組成，所以其中一臺(tái)循環(huán)機(jī)組出現(xiàn)故障不會(huì)影響其他區(qū)域的生產(chǎn)環(huán)境潔凈度等級(jí),并且各個(gè)循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)需要進(jìn)行分區(qū)調(diào)整控制。潔凈區(qū)的回風(fēng)經(jīng)維修區(qū)與新鳳處理裝置(MAU)處理后的新風(fēng)混合，由循環(huán)空氣處理裝置送入送風(fēng)靜壓箱，通過空氣過濾器送入潔凈生產(chǎn)層。潔凈區(qū)的回風(fēng)經(jīng)表冷器降溫后與處理后的新風(fēng)混合，通過FFU增壓、過濾送入潔凈生產(chǎn)層。風(fēng)機(jī)過單元送風(fēng)方式這是在潔凈區(qū)的吊頂上安裝多臺(tái)風(fēng)機(jī)過濾單元機(jī)組，FFUD、構(gòu)或凈化循環(huán)機(jī)組，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機(jī)房，送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓，空氣由FFU送到潔凈室。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、無菌車間等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

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